“那就好,你们没问题,就真的没问题了。我先和大伙说说我对光刻机的设想,据我所知,光刻机根据曝光方法的不同分为:接触式、非接触式和聚焦式三种。

        接触式是以前的老方法,缺点太大,我就不讲了。聚焦式虽然更先进,但难度也最大,我们目前还没有这个需要,可以做为以后的研究课题。为了赶时间,我打算这次就采取非接触式,符合我们目前的制程工艺,最高精度可以达到二十纳米以内,目前来讲完全足够了。相反,我们的芯片设计还没赶上来,这次就只试制十六位元的芯片,精度只要达到U米级就够了,洪所长你们扯后腿了啊!”

        郭东又开了洪涛的玩笑,不过这却是实情。洪涛也很无奈,芯片设计很复杂,需要大量的熟练人手。跟老板说得一样,要设计纳米级芯片,至少得有几千熟练电子工程师,否则想都不要想。

        想到这些,洪涛接过话头说道:“目前我们只能设计一些简单的芯片,连32位元的芯片都要花大量时间才行,至少一年计,我们的熟练人手太少了,实在没办法。老板也知道我们是短板,因此我还被老板批过。唉!”

        “好啦!既然老板已经批评了,我们就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑,然后正式说道:“非接触式光刻的技术要点就是激光头、掩模板还有基片要无限接近,最好只相差几个纳米,这样才能保证最大的精度。这是属于一种1:1投影技术或者说光刻技术,对掩模板的制作要求非常高,卢总,能不能将设计图进行电子图缩小?而不是光学缩小?”

        “理论上是可以的,我们尽量想办法,也就是说我们根本不搞纸质图纸了,直接用电子图纸投影曝光?”涉及到他的专业,卢汝成想也没想就回答了。

        这时洪涛也获得了灵感,因此接过了话头说道:“我打算采用液晶投影技术,液晶是一种分子级别的化合物,只要我们技术足够,那么控制精度可以无限小,我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小问题。我们就不走国外那套老路了,那样太复杂,而且精度不够。”

        “也只有你才知道国外是怎么搞的,我们从来都是自己搞自己的,不也很好吗?只要我们达到了目的就够了。”

        这时王波也插话说道,他对国外是怎么搞的是真不懂,他的话没有半句水份。

        “洪所长这个主意很好,这样电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。

        “这样我们是不是可以取消掩模板呢?”

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